硅与其他。资料中半导体 。集成资料在。电路集成电路。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析:
一 、根底特性比照 。集成
资料。 | 带隙(eV)。比较 | 电子迁移率(cm²/(V·s)) 。资料中 | 热导率(W/(m·K)) 。集成 | 击穿电场(MV/cm) 。电路 |
---|---|---|---|---|
。比较硅(Si) 。资料中 。集成 | 1.12。电路 | 1500 。 | 150 。 | 0.3。 |
锗(Ge) 。 | 0.67。 | 3900。 | 60。 | 0.1 。 |
砷化镓(GaAs)。 | 1.42。 | 8500 。 | 55。 | 0.4。 |
碳化硅(SiC)。 | 3.26 。 | 900。 | 490 。 | 3.0。 |
氮化镓。(GaN)。 | 3.4。 | 2000 。 | 130。 | 3.3。 |
二、中心优势范畴。
。硅资料。。
。干流逻辑芯片 。 :全球95%的集成电路选用硅基制作 ,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10) 、工艺老练(支撑3nm制程)14。
。集成度优势。:硅晶圆直径可达300mm ,单晶缺点率低于0.1/cm²,合适超大规模集成814 。
。氧化层特性。:天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是。MOSFET 。器材的抱负介质28。
。化合物半导体。。
。高频使用。 :砷化镓电子迁移率是硅的5.7倍,适用于。5G 。毫米波(>30GHz)器材49。
。功率器材。:碳化硅击穿电场强度达硅的10倍,可使电动汽车。逆变器 。损耗下降70%112。
。光电。转化。:磷化铟(InP)在光。通讯 。波段(1310/1550nm)量子功率超90%4。
三 、要害功能短板。
。硅的局限性。 。
禁带宽度窄导致高温漏电流大(>150℃功能骤降)911。
高频特性差(截止频率<100GHz),不合适太赫兹使用411。
。代替资料应战 。。
。本钱问题 。:6英寸碳化硅晶圆价格是硅晶圆的20倍12 。
。晶圆尺度。 :氮化镓量产晶圆最大直径仅8英寸,约束产能提高12 。
。工艺兼容性。 :砷化镓器材需特别生产线 ,与硅基产线不通用4 。
四